1、从分子泵诞生至今,已有近百年的历史,随着各项科学技术的不断进步,分子泵技术也取得了
许多创新与突破,现代分子泵更是朝着智能、灵活、高效的方向发展。
近些年随着控制理论与计算机技术的飞速发展并应用于分子泵上,使分子泵实现了电脑控制,从而
实现了远距离控制泵的起动、停车及调速,同时基于信息技术可建立完善的安全及监控系统,使分子泵
朝向智能化方向发展。
2、抽速是分子泵的核心参数,提高转速是加大抽速最为直接的方法之一,随着动平衡技术的发展
,分子泵转子可顺利地在超高转速下稳定运转。随着材料科学的发展,分子泵转子材料也发生了变化,
可用硬铝合金、碳纤维、钛合金等高硬度材料制成,这使转子的转速得到进一步提高。
3、近些年随着半导体产业的发展,很多情况要求分子泵在高压环境下连续大量排气且保证获得洁
净真空。传统涡轮分子泵在此环境下工作性能下降很多,很难保证实现设计效果。为使分子泵适应高压
工作环境,在原有涡轮分子泵基础上加装牵引式分子泵部分,将涡轮分子泵与牵引式分子泵串联在一起
,组成具有涡轮分子泵与牵引式分子泵各自优点的复合式分子泵。
4、除此之外,近些年还出现了多种新型分子泵,如可有效抽取水分子的低温型分子泵,可在强磁
场、强腐蚀条件下工作的陶瓷分子泵,以及可实现无接触支撑、高效率、高寿命的磁悬浮分子泵等。
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